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纳米技术的广义范围可包括纳米材料技术及纳米加工技术、纳米测量技术、纳米应用技术等方面。其中纳米材料技术着重于纳米功能性材料的生产(超微粉、镀膜、纳米改性材料等),性能检测技术(化学组成、微结构、表面形态、物、化、电、磁、热及光学等性能)。纳米加工技术包含精密加工技术(能量束加工等)及扫描探针技术。
纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围(1-100nm)或由它们作为基本单元构成的材料,这大约相当于10~100个原子紧密排列在一起的尺度。纳米材料大致可分为纳米粉末、纳米纤维、纳米膜、纳米块体等四类。其中纳米粉末开发时间最长、技术最为成熟,是生产其他三类产品的基础。
纳米材料研发与测试支撑平台主要由12个专业实验室及2个专业工程研究中心等基本单元组成,包括中科院表面物理国家重点实验室、分子纳米结构与纳米技术院重点实验室、电子显微镜重点实验室、真空物理重点实验室、极端条件物理重点实验室、纳米加工技术实验室、纳米标准与检测重点实验室、纳米系统与多级次制造重点实验室;北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室、微米纳米加工技术国家级重点实验室(联合);清华大学原子分子纳米科学教育部重点实验室;北京科技大学北京表面纳米技术工程研究中心;北京印刷学院北京市印刷电子工程技术研究中心以及北京工业大学固体微结构与性能北京市重点实验室。主要仪器设备有扫描探针电子显微镜、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、离子减薄仪、晶体生长和纳米材料生长设备、扫描隧道显微镜设备、原子力显微镜、光学谱仪、电学测量探针系统、金属及氧化物薄膜沉积系统、功能器件测量系统等。
本平台主要围绕纳米材料的技术研发与纳米材料的测试表征两部分为社会开展技术服务和提供技术支撑。
纳米材料的技术研发服务主要包括:
1.纳米材料和晶体的合成和生长;
2.金属及氧化物薄膜沉积;
3.制备纳米材料功能器件;
4.制备微纳米结构和器件;
5.实用微纳器件加工服务;
6.新型纳电子材料、新型纳电子器件的研发;
7.集纳电子、光电子和传感功能为一体的纳米器件研发;
8.纳米标准物质;
9.纳米加工技术研发;
10.发展与微电子工艺可能结合的纳米加工技术;
11.新型纳电子器件的工作原理及量子调控手段;
12.探索新型纳电子材料;
13.研究新型纳电子器件可能的集成方式及相应的信号提取和处理方式;
14.纳米材料理论模拟;
15.低维材料工程与应用。
纳米材料的测试表征服务主要包括:
1.纳米测量与表征技术;
2.纳米材料物性研究;
3.在纳米尺度下揭示固体表面分子的结构、形貌及磁学、力学等性质;
4.功能分子薄膜,纳米材料结构及其特殊性质的表征与研究;
5.纳米材料显微结构分析;
6.纳米信息材料、器件构造与物性;
7.生物分子结构与功能;
8、新型纳电子材料、新型纳电子器件的检测;
9.功能器件测量系统;
10.新型纳电子器件的工作原理及量子调控手段;
11.研究新型纳电子器件可能的集成方式及相应的信号提取和处理方式;
12.纳米测量标准。 |