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硅深刻蚀系统

英文名称:

产地国别: 中国

制造商:

运行状态:

启用日期:

所属单位: 清华大学研发实验服务基地

设备名称 硅深刻蚀系统
所属领域 新材料
所在单位 清华大学研发实验服务基地
厂商及型号规格 SPTS OMEGA LPX RAPIER
性能参数 8英寸Si、SOI、S
主要功能及应用领域 被刻蚀部分的聚合物保护层会完全除掉。除掉底部保护层后,对保护层下的硅材料进行刻蚀,而侧壁的保护层由于离子刻蚀的方向性,刻蚀速度低而不会被去除。
仪器原值(万元) 766.3255
启用时间 2018
联系方式
机构名称 科威国际技术转移有限公司
负责人 陈彦彦
联系人 武文龙
电话 010-62795180-506
邮箱 yangn@ittc.com.cn
地址 海淀区中关村东路1号清华科技园科技大厦B座701B/D室
邮编 100084
暂无信息
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