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光刻系统

英文名称:

产地国别:

制造商: suss Microtec

运行状态: 正常

启用日期: 2005-10-01

所属单位: 北京工业大学

仪器所属类别 工艺实验设备 >> 电子工艺实验设备 >> 半导体集成电路工艺实验设备
主要学科领域 电子与通信技术
所属领域 电子信息
仪器设备来源 购置
厂商及规格型号 MJB3
性能参数
主要功能 光刻
主要技术指标 用于半导体器件的光刻工艺。精度为1微米。是各种高性能半导体光电子和微电子器件制备所必须的工艺设备
安放地址 北京市朝阳区平乐园100号
联系方式
机构名称 北京北工大科技园有限公司
负责人 王晶
联系人 王金国
电话 010-67392765
邮箱 kjckfs2@bjut.edu.cn
地址 北京市朝阳区平乐园100号
邮编 100124
暂无信息
暂无信息

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