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气氛检测仪

英文名称:

产地国别:

制造商: 美国ORS公司

运行状态: 正常

启用日期: 2012-11-02

所属单位: 北京市自动测试技术研究所

仪器所属类别 工艺实验设备 >> 电子工艺实验设备 >> 半导体集成电路工艺实验设备
主要学科领域 电子与通信技术,计算机科学技术
所属领域 新一代信息技术
仪器设备来源 购置
厂商及规格型号 IVA-110S
性能参数
主要功能 电子元器件封装腔内气体试验
主要技术指标 校准腔:4CC,1CC,0.05CC 系统灵敏度:对水气100ppmv,对其他气体10ppmv 系统精度:10% 温度范围:0-175℃
安放地址 北京市海淀区北三环中路31号
联系方式
机构名称 北京市自动测试技术研究所
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