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中科院研发实验服务基地-全部领域-开放仪器设备
  • 多功能多参数晶圆级MEMS测试设备

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    所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:Formfactor Summit 12000B-AP


  • 双面光刻机 所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:Suss MA/BA8 Gen4 Pro
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  • AFM原位改性设备

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    所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:Adnanotek TN9000-S


  • 显微拉曼光谱仪

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    所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:Horiba LabRAM HR Evolution


  • ATE测量系统

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    所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:Advantest V93000


  • 扫描探针显微镜 所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:SPECS STM Aarhus 150
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  • 超高真空线性传输设备

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    所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:Adnanotek TN9000-R


  • 原子层沉积系统 所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:Picosun R-200 Advanced
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  • 北斗全球信号星座模拟设备

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    所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:GNS8460


  • 广域物联网传输综测系统

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    所属领域:电子信息
    所属单位:中科院研发实验服务基地
    规格型号:Rohde & Schwarz FSW50


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